如何設置掃描電鏡（SEM）的參數(shù)

2024/11/08

掃描電鏡（SEM）的參數(shù)設置對于獲得高質(zhì)量的圖像至關重要。以下是一些主要的參數(shù)設置及其影響：

 

1. 加速電壓（kV）：

   - 加速電壓決定了電子束的能量，進而影響圖像的分辨率和深度。較高的加速電壓可以產(chǎn)生更高的能量電子束，使樣品表面更容易被穿透，從而獲得更深入的圖像細節(jié)。然而，過高的電壓可能會損壞樣品。

   - 需要注意的是，高加速電壓在SE（二次電子）模式下對樣品表面結(jié)構(gòu)細節(jié)的分辨能力會降低，而低加速電壓則更適用于表面成像。

     20kV 10,000 X SE   10kV  10,000 X SE

2. 探針電流（nA）：

   - 探針電流是指電子束在掃描過程中的強度。較高的探針電流能夠提供更多的電子，從而增強信號強度并減少圖像噪音。然而，過高的探針電流可能會導致樣品的燒損和退火。

 

3. 物鏡光闌：

   - 物鏡光闌用于減少或排除外來（散射）電子，以獲得高分辨率的圖像。光闌的選擇和調(diào)整會影響電子束的直徑和圖像的分辨率。

   - 在高倍率圖像觀察時，物鏡光闌必須合軸以消除像散。

 

4. 工作距離（WD）：

   - 工作距離是指樣品表面與電子槍之間的距離。較大的工作距離可以提供更大的深度焦點范圍，適用于具有不同高度的樣品。然而，較小的工作距離可以提供更高的分辨率和更詳細的圖像細節(jié)。

   WD=12mm 20kV 10,000 X SE                  WD=6mm 20kV 10,000 X SE

5. 信號采集時間：

   - 信號采集時間是指在掃描過程中每個像素點接收信號的時間。較長的信號采集時間可以提高圖像質(zhì)量，但也會增加掃描時間。因此，在實際應用中，需要在圖像質(zhì)量和時間效率之間進行權(quán)衡。

20kV 100 X BSE

6. 對比度和亮度：

   - 這兩個參數(shù)直接影響圖像的視覺效果。調(diào)節(jié)對比度可以使圖像上的噪聲達到最佳狀態(tài)，而調(diào)節(jié)亮度則使屏幕顯示的灰度合適。

20kV 800 X BSE                                     20kV 800 X  SE

7. 其他參數(shù)：

   - 還包括如束斑尺寸、掃描速度、探測器類型等，這些參數(shù)的設置也會影響到圖像的質(zhì)量。

 

請注意，不同的電鏡設備即使參數(shù)相同，成像效果也可能會有差異。因此，為了確定樣品成像的最佳設置，需要進行實踐操作和反復調(diào)整。此外，對于某些特定的樣品或研究目的，可能還需要進行額外的樣品處理或參數(shù)優(yōu)化。

 

以上信息僅供參考，具體操作時應遵循設備的使用說明書和實驗室的安全規(guī)范。