Veritas鎢燈絲掃描電鏡系列

2020/07/28

Veritas系列保持EM科特電子顯微鏡的高性能高效率，大樣品倉內(nèi)含多功能電動(dòng)樣品臺(tái)，可更輕松地測量大尺寸樣品。

EM科特Veritas系列產(chǎn)品技術(shù)亮點(diǎn)：

l大尺寸樣品分析  Veritas系列可以分析常規(guī)SEM無法分析的大尺寸樣品。例如：晶圓，磁盤

l無損樣品分析   無需切割即可分析樣品。例如PCB，半導(dǎo)體圖案分析

l較重樣品分析   能夠分析較重的樣品。例如巖石，鐵礦石 

技術(shù)指標(biāo)：

分辨率	2nm
放大倍數(shù)	x10-x300000
電子槍	LaB6/CeB6
探測器	二次電子探測器、背散射探測器
真空系統(tǒng)	全自動(dòng)真空系統(tǒng)（＜90s） 渦輪分子泵 旋轉(zhuǎn)葉片泵 電動(dòng)閥系統(tǒng)
顯示模式	聚焦模式 預(yù)覽模式 慢掃模式 成像模式
自動(dòng)功能	聚焦 亮度/對(duì)比度 物鏡光闌搖擺對(duì)重 電子槍對(duì)重、偏壓、飽和